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Terme du glossaire
Les MEMS sont de minuscules structures mécaniques gravées dans le silicium, à côté de l'électronique. Les gyroscopes et accéléromètres MEMS détectent le mouvement grâce au déplacement de masses microscopiques vibrantes ou suspendues. Ils sont petits, légers, peu gourmands en énergie et robustes, ce qui en fait le choix habituel pour les IMU, AHRS et INS des véhicules, des drones et des robots.
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