MEMS هي هياكل ميكانيكية دقيقة محفورة في السيليكون إلى جانب الإلكترونيات. وتستشعر جيروسكوبات ومقاييس تسارع MEMS الحركة عبر حركة كتل مجهرية مهتزة أو معلّقة. وهي صغيرة وخفيفة ومنخفضة الاستهلاك للطاقة ومتينة، ما يجعلها الخيار المعتاد لوحدات IMU وأنظمة AHRS وINS على المركبات والطائرات المسيّرة والروبوتات.
Where it is used
- وحدات IMU
- أنظمة AHRS
- مستشعرات الميل
- نظام INS للطائرات المسيّرة والروبوتات